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「og真人app气浮平台」og真人app气浮平台相关先容!

发布时间:2019-10-07 10:37:35 阅读次数:85 文章来源:深圳博智达机器人
导读: 高精度og真人app、og真人app气浮平台、多轴气浮精密平台,在工作中需要实现亚微米运动精度。og真人app气浮精密运动平台研究了气浮导轨设计和og真人app控制的关键技术。采用有限元...
    高精度og真人app、og真人app气浮平台、多轴气浮精密平台,在工作中需要实现亚微米运动精度。og真人app气浮精密运动平台研究了气浮导轨设计和og真人app控制的关键技术。采用有限元法对气浮导轨进行了设计。采用该方法设计的气浮导轨具有较高的承载能力和刚度。提出了一种改进的PID控制策略,以提高og真人app运动平台的抗干扰能力,并获得较高的稳态位置精度。实验结果表明,采用这种控制方法后,og真人app悬浮。精密平台定位精度可达到亚微米,甚至纳米级精度要求。
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   采用双边og真人app驱动的H型气浮精密定位平台,研究了气浮导轨设计方法的关键技术和双边og真人app的同步运动控制。采用有限元法对气浮导轨进行了设计。分析了气膜压力场的分布。采用预压技术提高空气浮导轨的承载能力和刚度。静态特性试验表明,所研制的定位平台气浮导轨具有较高的承载力和刚度。设计了一种改进的基于同步速度偏差的并联结构同步控制器。通过模糊控制实现PID参数的自适应在线整定。运动实验表明,改进后的控制器具有较高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制高3倍以上,适用于具有强机械耦合的多电机同步运动控制。H型og真人app气浮定位平台具有承载能力强、精度高等优点,可应用于光刻机、光学检测等精密工程领域。
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